白光干涉仪系统构造介绍

白光干涉轮廓仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：

　　1. 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）。

　　2. 几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。

　　白光干涉仪是目前三维形貌测量领域的高精度检测仪器。在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域，除了白光干涉仪，其它仪器达不到检测的精度要求。

　　白光干涉仪由以下几部分构成：

　　1. 光学照明系统采用卤素光源，其中心波长为576纳米，光谱范围从340纳米到780纳米。

　　2. 光学成像系统采用无限远光学成像系统，由显微物镜和成像目镜组成。垂直扫描控制系统由压电陶瓷以及控制驱动器构成，采用闭环反馈控制方法，可精密驱动显微物镜上下移动，移动范围100mm。位置移动精度为0.1纳米。

　　3. 信号处理系统信号处理系统是该仪器的核心部分，由计算机和数字信号协处理器构成。利用计算机采集一系列原始图像数据。然后使用专用的数字信号协处理器完成数据解析作业。

　　4. 应用软件主要由操作控制部分，结果显示部分以及后处理部分组成。主要用于操作控制表面形状测量仪器。同时，以三维立体，二维平面以及断面分布曲线方式显示实时测量结果。并可对测量结果作进一步的修正处理。