激光干涉仪是一种常用的实验室仪器，可以用于测量长度、形状、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理，利用激光源发出两个频率不同的激光束，通过干涉产生干涉条纹来进行测量。在激光干涉仪中，激光源会发出两个频率不同的激光束，其中一个激光束为参考光，另一个激光束则被用来测量待测物体的位移或形变。这两束激光束会经过分束器和反射镜，最终在检测器上产生干涉信号。
激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
为了保证激光干涉仪的正常运行和精确测量结果，需要进行定期的保养和维护。以下是激光干涉仪的保养技巧：
1、定期清洁：需要定期清洁，以保持其表面的清洁和光学部件的透明度。在清洁过程中，应使用干净的、柔软的布或棉签，避免使用刮刀或尖锐物品，以免刮伤或损坏光学部件。
2、保持干燥：需要保持干燥，以防止光学部件受潮或受损。在存放和使用过程中，应避免暴露在潮湿的环境中，并注意防潮、防水。
3、校准：需要定期校准，以保证其测量精度和准确性。在校准过程中，应按照操作手册的要求进行操作，避免误操作或操作不当。
4、避免过度使用：需要避免过度使用，以防止其部件磨损或损坏。在使用过程中，应注意控制使用时间和频率，并遵守操作手册中的使用要求。
5、定期维护：需要定期维护，以保证其正常运行和长期使用。在维护过程中，应按照操作手册的要求进行操作，包括更换部件、加油、润滑等。
