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谈谈光学轮廓仪在各个领域中的应用

更新时间:2024-08-16      点击次数:496
  光学轮廓仪是一种基于白光干涉原理而研发生产的高精度测量仪器,它广泛应用于多个领域,以非接触、无损的方式对精密器件表面进行纳米级测量。其通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。光源发出的光经过扩束准直后,被分光棱镜分成两束光:一束光经被测表面反射回来,另一束光经参考镜反射。这两束反射光最终汇聚并发生干涉,形成干涉条纹。显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
  光学轮廓仪的应用范围:
  1、精密加工:在精密加工领域,用于测量零件表面的粗糙度、刻线深度、镀层厚度等微观结构。例如,量块、光学零件表面的粗糙度以及标尺、度盘的刻线深度等,这些精确测量对于保证精密零件的性能至关重要。
  2、半导体制造:在半导体行业中,轮廓仪用于检测硅片表面粗糙度及其上图形结构测量,还能应用于半导体封装工艺检测。由于其非接触式无损检测的特点,可以高效地对超光滑或粗糙的表面进行纳米级测量。
  3、材料科学研究:材料科学中,轮廓仪用于分析材料的微观结构和形貌,如表面粗糙度、平面度、平行度等关键参数。这种测量指导生产过程,优化产品性能。
  4、生物化学研究:在生物学和化学研究中,轮廓仪可以用于高灵敏度的光热效应弱吸收测量和总积分散射测量。这些测量帮助研究人员了解生物组织和化学样品的微观结构。
  5、微机械学研究:微机械学领域中,轮廓仪用于测量微小机械部件的三维结构,如MEMS器件的表面形貌特征。这对于微型传感器和执行器的设计与制造非常重要。
  6、3C产业链:在3C产业链中,光学轮廓仪被广泛应用于玻璃屏、手机金属壳模具瑕疵及油墨屏高度差的测量。这些高精度测量直接影响到电子产品的外观和性能。
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