光学轮廓仪是一种基于白光干涉原理而研发生产的高精度测量仪器，它广泛应用于多个领域，以非接触、无损的方式对精密器件表面进行纳米级测量。其通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。光源发出的光经过扩束准直后，被分光棱镜分成两束光：一束光经被测表面反射回来，另一束光经参考镜反射。这两束反射光最终汇聚并发生干涉，形成干涉条纹。显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
光学轮廓仪的主要结构：
1、光源：
使用两个LED光源，平均波长为550nm，这种光源具有长寿命且不需要更换。
LED光源能够提供足够的亮度，使光学系统在获取样品表面精细三维形貌的同时得到样品的真实颜色信息。
2、光学系统：
光学放大倍率范围为50X到2100X，总放大倍率为630X到25000X。
基于精密的照明和光学设计，通过在光路中增加高精度聚焦模块，确保系统能够精确探测到各点上焦面的位置。
系统设计不受样品表面粗糙度和反射率的限制，能够同时测量不同反射率（从小于0.5%到大于85%）的样品。
3、图像传感器：
使用彩色CCD相机作为图像传感器，分辨率不小于2448×2048像素。
CCD相机负责捕捉样品表面的高质量图像，以便进行后续的数据分析和处理。
4、载物台：
载物台能够在XY方向自动移动，范围为150mm×150mm。
自动载物台的设计使得测量过程更加便捷和准确，可以对样品的不同区域进行快速定位和检测。
5、数据处理系统：
配备先进的数据处理软件，能够对采集到的图像数据进行处理和分析。
系统软件支持多种功能，包括自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；以及校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等数据处理功能。
提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，使用户能够快速获得样品表面的粗糙度、几何轮廓等关键参数。
