中图仪器3D轮廓光学测量仪测量大尺寸样品时支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致，可达0.1um。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

在同等系统放大倍率下，以白光干涉技术为原理的SuperViewW1三维光学轮廓仪的检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级超精密加工领域提供高精度检测功能。

中图仪器粗糙度轮廓仪检测设备是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的测量仪器，具有12mm的粗糙度测量范围，分辨率达到1nm，适合测量大曲面上的表面粗糙度，同时具备轴承轮廓度评价功能，能够满足轴承行业的测量需求。

SJ5800国产表面粗糙度轮廓仪具有12mm的粗糙度测量范围，分辨率达到1nm，适合测量大曲面上的表面粗糙度，同时具备轴承轮廓度评价功能，能够满足轴承行业的测量需求。广泛应用于精密机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金、光学加工等行业。对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量，尤其是大范围曲面、斜面进行粗糙度检测，如圆弧面和球面、异型曲面进行多种粗糙度参数、微观轮廓度参数的测量

SuperViewW1高精度3d轮廓仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

中图仪器SuperViewW1白光3D轮廓仪非接触高精密测量方式，不会划伤甚至破坏工件，且测量速度快，不必像探头逐点进行测量。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

中图仪器3d三维光学轮廓仪能对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。

​中图仪器非接触式3d光学轮廓仪SuperViewW1能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。非接触高精密测量方式，不会划伤甚至破坏工件，而且测量速度快，不必像探头逐点进行测量。对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。