中图仪器三维光学表面轮廓测量仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

SJ5730-100国产轮廓测量仪采用超高精度衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能伺服驱动电机、高性能计算机控制系统技术，能实现对工件表面粗糙度和轮廓进行高精度测量和分析，是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的测量仪器。

中图仪器OP光学轮廓仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。是以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数的光学测量仪器。

中图仪器SuperViewW1三维光学表面轮廓仪以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。

SuperViewW1光学轮廓仪除了用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，还具有测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。测量速度快，不必像探头逐点进行测量，非接触高精密测量也不会划伤甚至破坏工件。特别对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。

中图仪器光学表面3d轮廓测量仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。

​SJ5700接触式轮廓测量仪可测量各种精密机械零件的粗糙度和轮廓形状参数，广泛应用于机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金、光学加工等行业。仪器依据GB/T 19600-2004、GB/T3505-2009、GB/T6062-2009、GB/T10610-2009、JJF1105-2003等国家标准及ISO5436、ISO11562国际标准制造。

SJ5700表面轮廓测量仪可测圆弧半径、直线度、凸度、沟心距、倾斜度、垂直距离、水平距离、台阶等形状参数。还可对各种零件表面的粗糙度进行测试；可对平面、斜面、外圆柱面、内孔表面、深槽表面、圆弧面和球面的粗糙度进行测试，并实现多种参数测量。