NS系列高精度薄膜台阶测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。在膜厚测量方面,它是利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。
VT6000光学显微共聚焦显微镜基于光学共轭共焦原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
SuperViewW纳米级白光干涉三维测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
CEM3000系列国内高分辨力台式扫描电镜在工业领域具有广泛的应用价值。它用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析,标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统,能满足用户对多类型样品的观测需求,实现微观的形貌和元素分析等。
CEM3000系列国产钨灯丝高分辨率台式扫描电镜不仅拥有强大的抗振性能和高效的工业应用能力,而且操作灵活和成像质量可靠。它的抗振设计在充满机械振动和噪音的工业环境中依旧稳如泰山,拍摄出清晰、高分辨率的图像。
VT6000共聚焦表面粗糙度多功能测量显微镜主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中,其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。
NS系列沉积薄膜高度台阶仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
CEM3000系列台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。该系列电镜也可通过加装各类探头和附件,满足用户的拓展性需求,这使其在材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域得到了广泛应用。我们也乐于根据客户提出的需求,定制个性化的技术方案,配合客户挖掘深层次的使用需求。
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