VT6000共聚焦光学类测量显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

SuperViewW三维形貌显微白光干涉仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点。

NS系列国产台阶仪测量膜厚仪器是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。

SuperViewW白光干涉3D表面形貌仪基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，以3D非接触方式测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。典型结果包括表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。

VT6000共聚焦三维成像分析测量显微镜一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

NS系列纳米测厚台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

中图仪器NS系列国产台阶仪快速测量效率高，集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

中图仪器SuperViewW白光干涉超精密工件表面3D形貌仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。