中图仪器SuperView W1双物镜白光干涉仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。

基于白光干涉原理，中图仪器自主研发生产的SuperViwe W1国产白光干涉仪采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI，单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型，让3D测量变得简单。广泛应用于3C电子、微纳米材料、微机电、光学加工、半导体、超精密加工等行业中精密元器件的表面粗糙度、几何轮廓等参数的测量和分析。

SuperView W3三维白光干涉形貌仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的平整度、粗糙度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器白光干涉仪可以设置分析模板，提供多文件分析、一键分析等辅助分析功能，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对精密工件微观形貌的批量测量并直接获取分析数据的功能。

中图仪器的SuperView W1三维白光形貌干涉仪一体化操作的测量与分析软件，提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，可实现批量测量功能。能真实地反映零件表面的特征以及衡量表面的质量。