中图仪器NS系列纳米级高精度台阶仪用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量，是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。仪器采用了线性可变差动电容传感器LVDC，集成超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

中图仪器VT6000材料表面共聚焦测量显微镜是基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析的精密光学仪器，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

VT6000激光共聚焦微观几何轮廓测量仪以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等实现器件表面形貌3D测量，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

中图仪器NS系列探针接触式台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。

SuperViewW1白光干涉3D显微检测仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器VT6000白光共聚焦3d显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。它基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析。

中图NS系列国产高精度台阶仪品牌数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。

中图仪器SuperViewW白光干涉仪测量粗糙度设备以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。