中图仪器激光干涉仪sj6000配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成,可满足0~80m范围内的线性测量。
中图仪器GTS激光跟踪干涉三维测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体,同时具有μm级别精度、百米工作空间的高性能光电仪器。不仅可以对静止的空间目标进行高精度三维测量,还可以对运动的目标进行跟踪测量,是大尺寸精密测量的主要手段。
GTS激光跟踪仪大尺寸三维测量仪能检测出各部件行走精度,比如机床导轨直线度,转台轴向,相互垂直度,径向跳动等。实际加工过程中可以使用激光跟踪仪实测被加工零件尺寸,以此做为机床加工进给量的依据,此时激光跟踪仪由检测设备转变为工艺设备,用于制造机床加工。
SJ6000激光干涉仪测量分辨率0.01″,系统测量精度为±1″,基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。
SJ6000国内激光干涉仪可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量,还可以实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、加速度、速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
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