三维白光形貌干涉仪

准确测量和评价精密加工件的三维形貌，对提高加工表面的质量和产品性能有重要的意义。在超精密加工显微测量场景中，中图仪器SuperView W1三维白光形貌干涉仪发挥的作用可以用“见一叶而知深秋，窥一斑而见全豹"来形容。大多数的场景只需要检测一个数十、数百微米的区域，就能达到效果，但是在少数超精密器件的三维形貌场景中，借助中图仪器的白光干涉仪自动拼接功能，可以实现高精度、大区域的测量。

产品参数

示例应用

现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点，而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量。中图仪器SuperView W1白光干涉仪实现了超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量。当传统测量仪器必须测量超出适配镜头下的单视场区域时，会采用自动拼接，而中图仪器的白光干涉仪，可根据不同表面特点进行重建算法的切换，并且具有以下优势：

1、行业领域和应用对象广

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

2、软件功能丰富

（1）多种数据处理方式；

（2）多种分析工具；

（3）可视化工作流模式；

（4）多样化的视图观察角度；

（5）多种分析方案，可进行一键分析；

（6）便捷的实时提取表面二维剖面，同步计算更新参数指标的同步分析功能；

（7）多种报表形式。

中图仪器研发生产的SuperView W1三维白光形貌干涉仪，分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、台阶高度、粗糙度、孔隙间隙、波纹度、表面缺陷、腐蚀情况、面形轮廓、弯曲变形情况、磨损情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。