国产白光干涉仪

白光干涉仪是3D检测领域中高精度的精密测量仪器之一，特别是在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域。市场中的国外白光干涉仪品牌，因为价格昂贵，让很多企业望而却步，品质和售后也是参差不齐。做的好的国产白光干涉仪不多，中图仪器自主研发生产的SuperView W1白光干涉仪算一个。

SuperView W1白光干涉仪跟国外的zygo白光干涉仪对标，品质和售后也有保障，更大的优势是软件方面。基于白光干涉原理，中图仪器自主研发生产的SuperViwe W1白光干涉仪采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI，单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型，其*的3D重建算法，自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合测量精度可达亚纳米级别，让3D测量变得简单。

产品参数

标准配置

可选配置

产品特点

1、参数测量：粗糙度、围观轮廓尺寸、角度、面积、体积、一网打尽；

2、环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；

3、双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石”也能安然无恙；

4、自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝”；

5、双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动”。

性能特征

1、高精度、高重复性

3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统，以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统，保证了测量精度和测量重复性。

2、一体化操作的测量分析软件

测量数据自动统计，可视化窗口，结合自定义分析模板的自动化测量功能，实现了快速批量测量的功能，自动完成多区域的测量与分析过程。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成Z向聚焦、载物台平移、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

（1）软件防撞保护ZSTOP

即在Z轴上设置停止位，设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离，当镜头运动到该位置时，就立刻停止不再向下运动，起到保护样品和镜头的作用。

（2）Z轴硬件防撞传感器

在镜头的上方安装有机械防撞传感器，当镜头向下位移与样品表面直接接触时，触发感应器，镜头与样品表面变为软接触，并触发紧急停止开关，不再响应向下位移的指令，避免镜头和样品的损伤，双重防护，守护设备和产品，也守护每一分价值和信任。

应用领域

中图仪器研发生产的SuperView W1国产白光干涉仪让轮廓测量价格更为实惠，分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、弯曲变形情况、腐蚀情况、表面缺陷、台阶高度、波纹度、磨损情况、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

深圳市中图仪器股份有限公司是高新技术企业，致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。经过十多年在几何量测量领域的潜心研究，设计制造了Super View系列白光干涉仪、GT系列激光跟踪仪、SJ6000系列激光干涉仪、SJ5100系列高精度测长机、SJ5700系列轮廓测量仪、SJ5200系列螺纹综合测量机、SJ2000系列指示表自动检定仪等众多测量、计量设备。从纳米级的微观形貌检测到百米级的大尺寸高精度测量，为用户提供专业的精密测量解决方案。