双物镜白光干涉仪

中图仪器推出的SuperView W1白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级工件的微观几何轮廓、粗糙度、平整度、曲率等，可广泛应用于3C电子玻璃屏及其精密配件、汽车零部件、半导体制造及封装工艺检测、光学加工、微纳材料及制造、MEMS器件等超精密加工行业及航天、高校科研院所等领域中。

在少数需要检测超精密器件表面全貌的场景中，SuperView W1双物镜白光干涉仪的自动拼接功能，能快速实现大区域、高精度的测量。

如一款旋转抛物面零件，其表面有高反、超光滑、凹面弧形特征，用于微小位移和角度检测。针对其凹面弧形的检测需求，原子力显微镜和共聚焦显微镜这两个显微测量仪器中，均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除，只有以白光干涉为原理的光学3D表面轮廓仪，能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。

针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1双物镜白光干涉仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。

深圳市中图仪器科技有限公司致力于精密计量、检测仪器设备的研发、生产和销售。现拥有2千平方米的现代化科研办公场地及3千平方米的精密加工、装配基地，配备了科研设施和精密加工设备，按照ISO9001标准进行生产，为客户提供高质量产品。