白光干涉仪应用

中图仪器SuperViewW1白光干涉仪设计简洁、用途多样，能够测量不同的材质、结构、表面粗糙度和波度，涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的形貌测量应用。

白光干涉仪应用操作步骤：

1. 将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；

2. 将夹具放置在载物台上；

3. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；

4. 使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；

5. 完成扫描设置和命名等操作；

6. 点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；

7. 进入数据处理界面，点击“去除外形"，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；

8. 进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；

9. 如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；

10. 进入数据处理界面，点击“提取剖面"图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；

11. 进入分析工具界面，点击“参数分析"图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。

白光干涉仪应用

场景一：超光滑的弧形表面

上图是一款旋转抛物面零件，用于微小位移和角度检测，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，针对其凹面弧形的检测需求，现有的显微测量仪器中，原子力显微镜和共聚焦显微镜，均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除，只有以白光干涉为原理的光学3D表面轮廓仪，能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。

针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描， 重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。

场景二：粗糙的特征表面

上图是涂覆在电极棒的催化剂表面全景图，整体尺寸在7mm左右，中心的催化剂区域呈低反射率特点，而圆环外呈高反射率特点，整体的轮廓尺寸和微观的轮廓起伏反映了涂覆的质量。

根据客户精度要求，可将重建算法切换为高速扫描的FVSI重建算法，并可依据表面粗糙程度，选择不同步距进行速度调节。