光学表面轮廓仪

中图仪器推出的SuperViewW1系列光学表面轮廓仪采用了扫描模块和内部抗振设计，可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性，诠释始终如一的测量品质。W1系列光学3D表面轮廓仪提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型，另可针对不同的客户需求，在两种型号间选取不同配置进行组合，让仪器切合客户需求，贴心省力。

产品参数

产品型号：SuperView W1系列

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

产品型号：SuperView W1-Pro

影像系统：1024×1024

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY位移平台：尺寸300×300mm，行程200×200mm，电动

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

3D形貌地图配合色谱图，非常直观，但横向测试范围，纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中，3D AOI（自动光学检测）是对传统精密加工上的升级，弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。抛开光学光学表面轮廓仪格实惠不说，基于白光干涉原理而研发生产的SuperView W1系列能以非接触的方式，无损检测精密机械加工表面，检测结果以3D数据地图的方式显示，直观地展示了表面纹理特征。