白光干涉仪器

现代化工业数字化测量要求高精度化、低成本和小型化，都是时代对制造业提出的紧迫要求。光学测量技术的迅速发展，使得利用光学原理开发的非接触测量机及各种装置越来越多，进一步提高了精度化、测量效率。

中图仪器SuperViewW1白光干涉仪器具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，其特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。

性能特征

1、高精度、高重复性

1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；

2）隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性。

2、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

3、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。

4、双重防撞保护措施

除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。

5、一体化操作的测量分析软件

1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；

2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；

3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；

4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；

5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；

6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

SuperViewW1白光干涉仪器分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。