三维光学表面轮廓仪

中图仪器SuperViewW系列三维光学表面轮廓仪专用于超精密加工领域，分辨率可达0.1nm，属于3D测量领域高精度检测仪器之一。具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

SuperViewW系列三维光学表面轮廓仪采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为<0.75%，重复精度要求<0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差），主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。

技术参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

SuperViewW系列光学3d表面轮廓仪支持自动聚焦功能，只需将Z向调到贴近样品表面（小于镜头工作距离），选择好聚焦范围，即可自动聚焦到样品清晰成像表面并获取干涉条纹。

特点

一是非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件；

二是测量速度快，不必像探头逐点进行测量；

三是不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置；

四是对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。

深圳市中图仪器股份有限公司成立十多年来，一直坚持以技术创新为发展基础，历经了十多年的技术积累和发展实践，在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析、大尺寸三维空间测量、精密传感测头、光栅导轨测控等众多技术领域形成了设计、制造优势，具备了从纳米到百米为用户提供精密测量解决方案的能力。