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3d轮廓检测仪器

简要描述:在测量大尺寸样品时,中图3d轮廓检测仪器的拼接功能,能将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致,可达0.1um。

  • 更新时间:2024-05-12
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:1575

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产品种类非接触式轮廓仪/粗糙度仪产地类别国产
应用领域医疗卫生,食品,能源,冶金,综合

中图3d轮廓检测仪器可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,XY载物台标准行程为140*110mm(可定制),测量的Z向范围可达10mm(2.5X镜头),Z向的精度可达0.1nm。采用了CCD取代了显微镜中的目镜,可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌,也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌,样品表面形貌展示得更加清晰,图像更大,观察更加方便。


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在测量大尺寸样品时,中图3d轮廓检测仪器的拼接功能,能将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致,可达0.1um。


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在3C领域,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;

在LED行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度;

在光纤通信行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;

在集成电路行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度;

在军事领域,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度;

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应用范例1.jpg



技术规格

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

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