国内白光干涉仪

中图仪器国内白光干涉仪的重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。测件尺寸可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，镜头的横向分辨率数值可达0.4um，Z向扫描电机可扫描10mm范围，纵向分辨率可达0.1nm级别，因此可测非常微小尺寸的器件。

中图仪器国内白光干涉仪采用了CCD取代了显微镜中的目镜，可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌，也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得更加清晰，图像更大，观察更加方便。

在光纤通信行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；

在集成电路行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在3C领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；

在LED行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；

在军事领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度；

在EMES行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度；

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白光干涉仪由于镜头视野较小，要想测量物体整个区域的表面情况，只能用自动拼接测量功能，但耗时较多，这时候可以用自动多区域测量功能，在样品表面抽取多个测量区域进行测量，从而对样品进行评估分析。中图仪器白光干涉仪支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致，可达0.1um。

技术规格

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

深圳市中图仪器股份有限公司是国家高新技术企业，致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。历经了十多年的技术积累和发展实践，专业覆盖面广，专项技术能力强，具备了从纳米到百米为用户提供精密测量解决方案的能力。