激光干涉测量仪

激光干涉测量仪可对机床进行校准、检测机器人的重复定位精度......并提供数据补偿依据，是高品质测量仪器产品。

中图仪器测量重复定位精度的配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。

SJ6000激光干涉测量仪的静态测量软件可以将线性测量结果生成误差补偿表，该表涵盖了各个测量点的补偿值，运动控制系统制造商允许通过修改运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差，精确的补偿，可以降低运动轴的位置误差。

线性测量中目标位置的数据采集有基于位置的目标采集和基于时间的目标采集两种方式，普遍采用基于位置的目标采集方式，即：被测运动轴需设定若干个等距的定位点，当运动轴移动到设定的定位点时，需设置停留时间，以供SJ6000测量软件进行当前点的数据采集。

技术参数

产品型号：SJ6000

产品名称：SJ6000激光干涉仪

稳频方式：激光热稳频

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

测量分辨力：1nm

动态采集频率：50KHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：（0-40）℃

环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，可实现高精度、长期稳定的激光频率输出，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，与不同光学附件结合，可以测量距离、直线度、垂直度平行度、平面度。由于仪器为模块化结构，安装位置灵活，便于分析机床误差来源；而且测量时可以在工作部件运动过程中自动采集数据，更接近机床的实际使用状态。