立式非接触白光干涉仪

SuperViewW1立式非接触白光干涉仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。采用了CCD取代了显微镜中的目镜，可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌，也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得更加清晰，图像更大，观察更加方便。

技术参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

优点

1. 非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件；

2. 测量速度快，不必像探头逐点进行测量；

3. 不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置；

4. 对高深宽比的沟槽结构，可以快速而精确的得到理想的测量结果。

SuperViewW1立式非接触白光干涉仪双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。在半导体、精密加工及微纳材料等领域可得到广泛应用。