非接触3d光学轮廓仪

SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，所具有技术竞争力在于接触式和光学三维轮廓仪的结合。主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

技术参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：100万～400万像素可选

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：行程140X100mm、200X200mm、300X300mm可选   尺寸 320X200mm、300X300mm、450X450mm可选

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100

水平调整范围：±2°、±5°、±6°可选

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪可以同时有探针扫描和样品台扫描两种模式。探针扫描利用电压驱动探针在大范围达到500x500微米的区域内移动并且产生*分辨率的图像。样品台扫描则是移动样品台来产生高分辨率的图像。只需要一键，就可以切换两种模式。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

主要应用领域

1、用于太阳能电池测量；

2、用于半导体晶圆测量；

3、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量；

4、用于机械部件的计量；

5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。