高精度激光干涉仪测量

中图仪器高精度激光干涉仪测量具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

功能广

· 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

· 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

· 可实现对机床回转轴的测量与校准；

· 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

· 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

· 支持手动或自动进行环境补偿。

软件强

· 友好的人机界面；

· 丰富的应用功能模块；

· 向导式的操作流程；

· 简洁化的记录管理；

· 支持中文、英文和俄文界面；

· 支持企业专属模板定制。

中图仪器高精度激光干涉仪测量采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出，集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时。