白光干涉3D轮廓仪

SuperViewW1白光干涉3D轮廓仪结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量2D、3D参数。

产品功能

1）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；

2）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；

3）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；

4）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；

5）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；

6）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具备word、excel等数据报表导出功能。

产品性能

纵向扫描：≤10.3mm，与选用物镜相关

扫描帧速：50FPS/s

粗糙度重复性：0.005nm（依据ISO 25178-2012）

光学分辨率：0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关

至大点数：1048576（标准）

台阶测量：准确度≤0.3%，重复性≤0.08%1σ

SuperViewW1白光干涉3D轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。