精密测量激光干涉仪

SJ6000精密测量激光干涉仪测量过程全自动化，效率高，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。可测量任意方向的回转轴，可测量任意角度间隔，通用性强；可自动生成误差曲线和补偿数据，根据不同标准自动计算定位精度结果，无需人工计算。

产品功能

1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

3)可实现龙门机床双轴同步测量；

4)可实现对机床回转轴的测量与校准；

5)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

6)具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

7)支持手动或自动进行环境补偿。

SJ6000精密测量激光干涉仪除了环境适应能力好，还可以进行动态高速测量，选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。典型情况下对于1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。

量程精度

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m