激光干涉仪测量设备

SJ6000激光干涉仪测量设备测量精度高、速度快，稳定性好，配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度；应用范围广，可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测，结合软件系统，也可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析，实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析；软件界面友好，向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

SJ6000激光干涉仪测量设备以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

系统组件

1、激光主机

精准——激光频率稳定度高，可溯源至国家标准。

SJ6800激光主机由DC12V电源适配器供电，输入电压范围在100V-240V之间皆可正常工作。

支持USB通信接口，可与计算机高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配备的SCSI接口，可提供外部触发信号输入和正交信号输出，以及其它扩展应用。

2、EC20环境补偿单元

可靠——对空气温度、湿度、气压和材料温度进行自动环境补偿。

激光干涉仪是以激光波长为载体，测量过程中环境条件（空气温度、湿度、气压）的变化会影响激光波长。

EC20环境补偿单元可实时检测环境条件的变化，同事进行激光波长补偿。

EC20环境补偿单元可连接三个材料温度探头，监测被测对象其材料的温度变化，同事进行材料的热膨胀补偿。

EC20环境补偿单元采用低功耗设计，无需额外的供电电源，其工作电源集成于USB接口。

为了方便现场使用，EC20环境补偿单元配备磁性挂板，温度探头的标准线长5m，亦可定制线长。

3、三脚架及便携箱

其他组件

1、光学镜组

（1）线性镜组

应用于机器轴的定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等；也可用于机器轴的动态测量分析。

（2）角度镜组

应用于机器轴的角摆测量和转轴的旋转角度测量；亦可以用于转轴的角速度和角加速度的动态测量分析。

（3）直线度镜组

应用于导轨或机器轴的直线度测量，包含水平方向和垂直方向的直线度。

（4）平面度镜组

按照国标方式进行平面度的测量和分析，其平面度羁绊长度可调。

（5）线性附件-轻型线性镜组

轻型线性镜组包括缩光镜和小角锥反射镜，其中小角锥反射镜重量仅为8g，可以直接在被测物体上，有效降低线性反射镜过重带来的影响。主要应用于先行反射镜的重量可能影响到被测轴系的机械性能或精度；线性反射镜的尺寸遇到较为困难的装夹场合；负载敏感的动态测量。

（6）大角锥反射镜

应用于机器Z轴方向的直线度测量或垂直度测量，起反射光束的作用。

（7）垂直度镜组

应用于两条相互垂直的机器轴的垂直度测量场合。

SJ6000测量分辨率0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。