白光干涉显微轮廓仪

SuperViewW1白光干涉显微轮廓仪以白光干涉技术为原理，可对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，从而实现器件表面形貌3D测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

产品功能

1）SuperViewW1白光干涉显微轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

轮廓分析步骤：

1.将样品放置在载物台镜头下方；

2.检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；

3.使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹；

4.微调XY轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹；

5.完成扫描设置和命名等操作；

6.点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；

7.台阶样品分析第一步：校平；

8.进入数据处理界面，点击“校平"图标，和平面样品不同，台阶样品需手动选取基准区域，选好基准区域后，先“全部排除"再“包括"；

9.若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致，可多选择几个区域作为基准面进行校平；

10.台阶高度测量：线台阶高度测量

11.进入分析工具界面，点击“台阶高度"图标，即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据；

12.在右侧点击“手动检测"，根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值；

13.台阶高度测量：线台阶高度测量

14.进入数据处理界面，点击“提取剖面"图标，使用合适方向的剖面线，提取目标位置的剖面轮廓曲线；

15.进入分析工具界面，点击“台阶高度"图标，由于所测为中间凹槽到两侧平面高度，因此点击右侧工具栏，测量条对数选择“2"，将红色基准线对放置到凹槽平面中间，两对测量线对分别放置在两侧平面，即可在数据缆读取台阶高度数据。