光学3D白光干涉仪

中图仪器SuperViewW1光学3D白光干涉仪采用光学非接触式测量方法实现器件表面形貌的3D测量。具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，加上其光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。

产品功能

1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

结构特点

1.双通道气浮隔振系统大幅减小了环境振动的影响，还可以降低高精度量测时的噪声，提高超光滑表面的测试精度。

2.一体化操作的测量分析软件自动对焦样品表面，自动智能配置测试参数，使原来麻烦的“找条纹"，“选择测试参数"过程，在一分钟之内，自动完成。

3.双重防撞保护功能，除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，能保护样品和设备的安全。

软件功能

(1) 提供多种数据处理方式。

提供校平、镜像、旋转等操作调整图像位置；

提供空间滤波、标准滤波、阈值纠正、去除形状、频谱变换等滤波操作对数据进行修正；

提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作获取检测区域。

(2) 提供多种分析工具。

提供距离、台阶高度等要素测量；

提供点、线、圆弧、角度等特征测量，以及直线度、真圆度等形位公差评定，为用户展现强大的轮廓分析功能；

提供基于表面的纹理分析，方便地观察纹理方向与纹理均质性；

提供图形分析、岛屿分析、分形分析、顶点计数、孔的体积等多种有针对性的分析功能；

提供频谱分析功能，可获取幅度和相位信息、平均功率谱密度信息、自相关性等；

提供全面的线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能；

提供依据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)计算的2D，3D参数。

(3) 可视化的工作流模式，数据处理器和结果管理器具有可视工作流程树图，在每个节点既可以是数据处理选项也可以是分析结果。

(4) 多样化的视图观察角度，3D视图可以清晰地查看被测物的每一个特征，并可以在3D视图、2D投影图、等高线图之间任意切换。

(5) 内置多种分析方案，可对特定表面进行一键分析，自动生成一组分析结果，节约操作时间；并可自定义方案，将用户的分析项目组合起来，避免重复操作。

(6) 便捷的同步分析功能，可实时提取表面二维剖面，同步计算更新参数指标，实现对样品的操作所见即所得。

(7) 拥有多种报表形式，用户可根据需要导出分析结果到Word、Pdf等常用办公软件中。

薄膜粗糙度测量

超精密加工

SuperViewW1光学3D白光干涉仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可以用于测试各类表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于测试直至100%反射率的各类高反表面。