光学粗糙度测量仪

SuperViewW1光学粗糙度测量仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

结果组成：

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；

3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；

5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；

6、微电子表面分析和MEMS表征。

部分参数

Z向分辨率：0.1nm

横向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重复性：0.1nm

表面形貌重复性：0.1nm

台阶测量重复性：0.1% 1σ；准确度：0.75%

SuperViewW1光学粗糙度测量仪在材料科学研究，新型材料制备等方面有着广泛应用，比如测量材料基体和镀膜后表面形貌和粗糙度，测量材料的磨损性能（通过白光干涉仪测量磨损轮廓和粗糙度）。在MEMS测试项目中，表面特性（粗糙度、台阶高）是一个非常重要的项目，目前主要是采用非接触式的光学3D轮廓仪(白光干涉仪）进行测量。

在3C领域，可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；

在LED行业，可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；

在光纤通信行业，可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；

在集成电路行业，可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在EMES行业，可以测量台阶高度和表面粗糙度；

在军事领域，可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。

SuperViewW1可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。