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超精密激光干涉仪sj6000

简要描述:中图仪器超精密激光干涉仪sj6000使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)。集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。

  • 更新时间:2024-05-13
  • 产品型号:SJ6000
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:949

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产地类别国产应用领域化工,农业,交通,汽车,综合

中图仪器超精密激光干涉仪sj6000使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)。集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。


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产品功能

1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

3.可实现对机床回转轴的测量与校准;

4.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

5.具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

6.支持手动或自动进行环境补偿。


性能特点

1. 自动采集数据,避免人为读数误差,精度高;

2. 测量过程全自动化,效率高;

3. 可测量任意方向的回转轴,可测量任意角度间隔,通用性强;

4. 超精密激光干涉仪sj6000可自动生成误差曲线和补偿数据,根据不同标准自动计算定位精度结果,无需人工计算。


回转轴精度测量.jpg

回转轴精度测量

光刻机Y轴Vertical Straightness测量.jpg

光刻机Y轴Vertical Straightness测量


测量软件

1.友好的人机界面;

2.丰富的应用功能模块;

3.向导式的操作流程;

4.简洁化的记录管理;

5.支持中文、英文和俄文界面;

6.支持企业专属模板定制。



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