详细介绍
品牌 | CHOTEST/中图仪器 | 价格区间 | 面议 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 环保,化工,能源,电子,综合 |
共聚焦显微镜主要采用3D捕获的成像技术,它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像,具有很强的纵向深度的分辨能力。在材料生产领域中,共聚焦显微镜工业测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能;
2)设备具备自动拼接功能,能够快速实现大区域的拼接缝合测量;
3)设备具备一体化操作的测量与分析软件,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能;
4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能;
5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能,可实现批量数据文件的快速分析功能;
型号 | VT6100 | |
行程范围 | X | 100mm |
Y | 100mm | |
Z | 100mm | |
外形尺寸 | 520*380*600mm | |
仪器重量 | 50kg | |
测量原理 | 共聚焦光学系统 | |
显微物镜 | 10×;20×;50×;100× | |
视场范围 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
高度测量 | 重复性(1σ) | 12nm |
精度 | ± (0.2+L/100) μm | |
显示分辨率 | 0.5nm | |
宽度测量 | 重复性(1σ) | 40nm |
精度 | ± 2% | |
显示分辨率 | 1nm | |
XY位移平台 | 负载 | 10kg |
控制方式 | 电动 | |
Z0轴扫描范围 | 10mm | |
物镜塔台 | 5孔电动 | |
光源 | 白光LED |
共聚焦显微镜工业测量仪对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
共焦显微镜系统所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。传统光学显微镜上常配备灵敏度较低的CCD相机来采集图像,对于低照度的光,如荧光无法探测到,而共聚焦显微镜系统使用的探测元件是高灵敏度的光电倍增管,对微弱的荧光信号可以呈现出很高的灵敏度,并且还可以通过缩小激发范围并使用光学切片来消除背景噪声。
在相同物镜放大的条件下,共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。
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