激光干涉检测仪

SJ6000激光干涉检测仪集光、机、电、计算机等技术于一体，采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。仪器具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

产品功能

（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；

（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

（5）SJ6000激光干涉检测仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

（6）支持手动或自动进行环境补偿。

产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

线性测量配置及使用方法

线性测量（线性轴位置精度测量的简称）配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。

线性镜组可以针对不同方向的运动轴而搭建相应的测量光路，如下图：

水平轴的线性测量示意图

垂直轴的线性测量示意图

SJ6000静态测量软件可以将线性测量结果生成误差补偿表，该表涵盖了各个测量点的补偿值，运动控制系统制造商允许通过修改运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。

线性测量中目标位置的数据采集有基于位置的目标采集和基于时间的目标采集两种方式，普遍采用基于位置的目标采集方式，即：被测运动轴需设定若干个等距的定位点，当运动轴移动到设定的定位点时，需设置停留时间，以供SJ6000测量软件进行当前点的数据采集。

线性测量应用

SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。

传感器线性精度测量

在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

动态测量

动态测量概述

SJ6000动态测量软件搭配线性镜组、角度镜组或直线度镜组可以进行相应的线性、角度或直线度的动态测量与性能检测。

动态测量包括基于时间的动态测量和基于距离的动态测量，SJ6000动态测量软件可对动态测量数据进行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅与频率分析等。

位移-时间曲线

速度-时间曲线

加速度-时间曲线

振幅-频率曲线

动态测量应用

基于时间的动态测量

机器运动控制性能评价：

1.运动控制器PID控制参数测试与设置

2.高速运动后机器的稳定性测试与评价

3.高性能运动控制器的微小步幅的测试

振动监视

1.扫描应用：用于定位精度不重要，但恒速对实现高质量成像非常关键的场合

2.机床应用：典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工

振动频率分析

1.被测对象的振动频率分析

2.FFT快速傅立叶变换分析

基于距离的动态测量

基于距离的动态测量，SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行"测量，即运动轴在不停顿的情况下以用户间隔进行数据采集。

提供脉冲触发方式采集

CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号，配合SJ6000激光干涉仪，可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下，触发激光干涉仪按照间隔位置进行数据采集。

部分技术指标

主机

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：≤ 6分钟

工作温度范围：(0~40)℃

存储温度范围：(-20~70)℃

环境湿度：(0~95)%RH

环境补偿单元

空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH

大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa

线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

角度测量范围：测量范围：±10°

平面度测量范围：±1.5mm