激光干涉仪系统

激光干涉仪系统具有高精度、高灵敏度、非接触式测量等优点，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。可作为长度基准以及设备校准工具。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。

在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

部分技术指标

主机

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：≤ 6分钟

工作温度范围：(0~40)℃

存储温度范围：(-20~70)℃

环境湿度：(0~95)%RH

环境补偿单元

空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH

大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa

线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

角度测量范围：测量范围：±10°

平面度测量范围：±1.5mm

功能特点

精度高

SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

功能广

（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；

（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

（6）支持手动或自动进行环境补偿。

产品配置

SJ6000激光干涉仪具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

传感器线性精度测量

SJ6000激光干涉仪系统自动采集数据，避免人为读数误差，精度高；使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)。