高精度光学曲面粗糙度轮廓测量仪

中图仪器SJ5900高精度光学曲面粗糙度轮廓测量仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的高精度光学曲面测量仪。它采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高稳定性气浮隔震系统、高性能计算机控制系统技术，实现对球面及非球面光学元器件表面粗糙度和轮廓的高精度测量和分析。

专业为非球面镜片的大曲面测试，通过高稳定性的气浮隔震系统保证仪器不受外界振动影响，计算机采用高精度标定系统对采样数据进行修正标定，最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对轮廓及微观轮廓进行非球面参数分析、各种粗糙度参数、轮廓参数分析。

测量功能

1.非球面基本参数输入功能：凸凹形状、R-顶点半径、K-圆锥常数，多次项常数:A1、A2…A40等；

2.非球面参数测量评定：微观轮廓参数Pt、Pa、Fig；倾角参数Smn、Smx；水平轴线夹角Tilt；光轴与轮廓的距离参数Xp、Xv、Xt；均方根粗糙度参数RMS；斜率参数Slpe mx、Slpe mx(x)、Slpe rms、Slpe ave；勾选优化半径后计算顶点半径误差参数Radius Err等。

3.表面粗糙度评定： R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数。

4.支持轮廓分析功能：创建坐标、量测工具、构建特征、可测几何量、形位公差等功能。

5.SJ5900高精度光学曲面粗糙度轮廓测量仪具备自动找拐点功能，能按照程序设置进行X轴自动找拐点。

产品优势

nm级高精密光学曲面测量

1.具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，分辨率高达0.1nm，系统残差小于3nm。

2.高稳定性的隔震系统，自带隔震气浮系统，外界的噪声及其他气流通过仪器的玻璃罩进行了隔离，能确保高精度高稳定度的测量特殊的光学元器件表面轮廓及粗糙度参数。

3.超高直线度研磨级摩擦导轨、特殊红宝石转轴系统提供转动的超高灵敏度及测量精度。

4.高稳定的驱动设计，确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰，保障了系统扫描运动精度。

5.专用标定器能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿，使其满足高精度轮廓测量。

非球面光学测量与分析软件系统

1.超智能的非球面光学软件分析系统，专业定制的非球面测量软件系统，非球面全参数都能测量。

2.根据GB/T、ISO、JIS等标准，自动评价粗糙度。

3.对于简单的工件只需要设置测量长度即可一键测量。

对于复杂的工件，可以工件的任意位置进行分段测量，并做成模板便于轮廓批量测量。

4、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行轮廓批量测量。

5.自动保存测量结果，测量完成后可输出测量报告，形式多样。

6.软件操作界面简洁直观，任何人都能轻松设定和测量。

智能灵活仪器操纵设计

1.测针一键拔插，特殊设计的高刚性拔插结构，无需锁螺钉，方便快捷、稳定可靠。

2.智能微测力系统，0.5-3mN 测力档位可调，可满足不同工件表面测量要求，特别是光学镜片。

3.各个运动轴都有进行硬件及软件保护，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。

4.带舵机结构，可防止扫描陡坡时的快速下坠。

5.组合调节控制手柄可快速完成载物台平移，X轴和Z轴定位，测杆上下摆动及速度分级调节功能。

6.电动Y轴台，可实现单独Y轴、XY轴组合自动找拐点，减少人工找拐点带来的误差。

SJ5900光学曲面测量仪广泛应用于精密机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金等行业。该仪器可以对零件表面，尤其是大范围曲面，如圆弧面和球面、异型曲面等进行检测，可分析出非球面参数、多种粗糙度参数、微观轮廓度参数。是大曲面测量（光学镜片、光学精密模具、轴承、人工关节、齿轮、叶片）领域精细粗糙度测量的利器。

部分技术规格

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