中图仪器SuperView W1非接触三维表面轮廓测量仪器主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓，此外还具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。

SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪能够以优于纳米级的分辨率，测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

从检测效果和操作简便上来看，w系列光学表面轮廓仪是比较有优势的产品。可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，xy载物台标准行程为140*110mm（可扩展），局部位移精度可达亚微米级别，镜头的横向分辨率数值可达0.4um，Z向扫描电机可扫描10mm范围，纵向分辨率可达0.1nm级别，因此可测非常微小尺寸的器件。

要想测量物体整个区域的表面情况，只能用自动拼接测量功能，但耗时较多。中图仪器3d光学表面轮廓检测仪的自动多区域测量功能，能在样品表面抽取多个测量区域进行测量，从而对样品进行评估分析。

SuperViewW1 3d光学表面轮廓仪器能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，主要用于质量控制和检测应用。

​SuperViewW1三维光学轮廓仪检测设备主要对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

​SuperViewW1非接触三维光学轮廓仪器是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。它能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

SuperViewW1光学轮廓测量仪具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。