​中图仪器3d光学表面轮廓仪检测仪能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。主要用于表面形貌纹理，微观结构分析。

中图仪器SuperViewW1非接触光学表面3d轮廓仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。其重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。

中图仪器SuperViewW1光学3d轮廓仪一体化操作软件，测量与分析同界面操作，预先配置好分析参数，软件自动统计测量数据，实现快速批量测量。

中图仪器3d光学轮廓仪设备可以达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。可广泛应用于汽车零部件、半导体制造及封装工艺检测、微纳材料及制造、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、高校科研院所等领域中。

中图仪器3D粗糙度轮廓仪支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致，可达0.1um。

SuperViewW1 玻璃表面粗糙度测量仪数秒内即可获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。其载物台XY行程为140*110mm（可扩展），Z向测量范围可达10mm，在测量大尺寸的样品时，可以选择拼接测量（拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致，可达0.1um）。

W1光学3d表面轮廓仪器采用白光干涉技术，结合具有优异抗噪性能的3D重建算法，真实还原样品的每一个细节，随意翻转缩放，都能轻松观察、测量样品的任意特征。

中图光学轮廓测量仪直观的操作界面，让您对操作流程一目了然，自动聚焦，助您一键实现测量过程；可视化的工作流程树，一键激活的图库管理功能，所见即所得的分析功能，有一键分析功能，批量测量不用愁。