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中图仪器SuperViewW系列3d表面微观形貌轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。
在工业应用中,SuperViewW三维光学轮廓检测仪超0.1nm的纵向分辨能力能够高精度测量物体的表面形貌,可用于质量控制、表面工程和纳米制造等领域。
SuperViewW系列3D光学轮廓成像系统基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等);几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)。
中图仪器SuperViewW1中图3d轮廓测量仪光学成像具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
中图仪器SuperViewW1三维光学轮廓测量仪以白光干涉技术为原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等.
中图仪器SuperViewW系列3D光学检测仪器基于白光干涉原理,能以3D非接触方式,对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
SuperViewW3d表面光学轮廓检测仪以白光干涉技术为原理,获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。它集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型,让3D测量变得简单。
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