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显微测量仪
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中图仪器VT6000系列共聚焦显微镜擅长微纳级粗糙轮廓的检测,所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
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