SuperViewW1立式非接触白光干涉仪双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。

SuperViewW1微米级白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器国内白光干涉仪的重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。测件尺寸可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸。

SuperViewW1白光干涉仪器专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量，具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点。

​中图仪器SuperViewW1白光干涉仪应用用途多样、设计简洁，能够测量不同的材质、结构、表面粗糙度和波度，涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的形貌测量应用。

中图仪器SuperView W1双物镜白光干涉仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。

基于白光干涉原理，中图仪器自主研发生产的SuperViwe W1国产白光干涉仪采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI，单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型，让3D测量变得简单。广泛应用于3C电子、微纳米材料、微机电、光学加工、半导体、超精密加工等行业中精密元器件的表面粗糙度、几何轮廓等参数的测量和分析。

SuperView W3三维白光干涉形貌仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的平整度、粗糙度、微观几何轮廓、曲率等。