NS系列高精度薄膜台阶测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。在膜厚测量方面,它是利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。
NS系列沉积薄膜高度台阶仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
NS系列国产台阶仪测量膜厚仪器是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。
NS系列纳米测厚台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
中图仪器NS系列国产台阶仪快速测量效率高,集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。
NS200印刷电路板台阶高度测量仪具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
NS系列国产薄膜台阶测量仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
NS系列薄膜台阶测量仪利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,此外还可以用于表面粗糙度等微观形貌参数的测量,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。
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